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  • 高低溫冷卻液測試機溫度速降高溫破壞
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    溫濕度調(diào)節(jié)裝置在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

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  • 精密恒溫恒濕機
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